SP-II自动射频匹配器

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SP-II自动射频匹配器

sp-11

自动匹配器

  产品特点及主要性能指标:

1、自动快速调节匹配网络

2、实时显示入射功率及反射功率变化,指示精度 3%

3、显示自偏压

4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征

5、采用真空电容调节(1KW以上)

6、具有自动控制和手动控制两种模式

7、电压输入: 220v

8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用

9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性

10、规格:500W—10KW

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