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热烈祝贺中科院微电子所射频电源组新网站改版正式上线
为适应市场发展的需要，满足客户通过网络了解中科院微电子所射频电源，中科院微电子所射频电源组决定改版网站，通过设立专门的销售热线，加强与客户 的沟通与合作。
射频电源课题组从1984年研发射频电源，1985年研制成功，获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。经过二十多年的努力，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售射频源占国内 市场份额的70%以上。目前开发成熟电源产品有：500W、1KW、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功 率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
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SP-II自动射频匹配器
自动匹配器
产品特点及主要性能指标：
1、自动快速调节匹配网络
2、实时显示入射功率及反射功率变化，指示精度 3%
3、显示自偏压
4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
5、采用真空电容调节（1KW以上）
6、具有自动控制和手动控制两种模式
7、电压输入: 220v
8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性
10、规格：500W—10KW
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热烈庆祝微电子所固态射频电源系统荣获第七届国际发明展银奖
2012年11月9日至12日，第七届国际发明展览会暨国际教学新仪器和新设备展览会在昆山举行，微电子所“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个项目获得“银奖”。
此次展会重点聚焦能够体现产业特色、彰显产品特点的优秀技术、节能减排产品、高端装备制造、生物技术、新材料、新能源、新一代信息技术等战略性新兴产业和文化产业有关的产品。除国内各省市、自治区及有关行业协会、解放军等单位参展外，境外也有40多个国家和地区派团参展，展位数超2400个，参展人数超10万人次。
微电子所作为“首都科技条件平台中科院研发试验服务基地”的首批签约成员单位，继2011年第二十届中国发明展上取得好成绩后，今年又受邀参加此次展览。微电子所设备技术研究室经过筛选，组织了“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个项目参展，这两个项目均得到了国家科技重大专项的支持，不少观众驻足观看项目介绍，咨询相关技术细节。经组委会组织的专家评审，微电子所的两个参展项目均获得本次展览的“银奖”。
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RFG-1500型固态射频电源
RFG-1500型射频电源
电气参数
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电气参数 |
指标 |
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|
输出功率 |
1W-1500W连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示 |
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射频末级效率 |
≥86％（1500W输出时），≥93%（800W输出时） |
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|
功率稳定度 |
≤ ±0.5％(额定功率输出时) |
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频率稳定度 |
±10ppm |
|
|
承受最大反射功率 |
300W（20-30s） |
|
|
最大输出功率裕度 |
20% |
|
|
谐波输出 |
二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB |
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|
频率信号 |
13.56MHz标准正弦波 |
|
|
整机效率 |
≥70% |
|
控制信号与后面板电气连接
|
描述 |
说明 |
|
模拟口 |
15针D型（阴性）（选配） |
|
串口 |
RS232/RS485/USB通讯协议（选配） |
|
外部时钟同步（CEX） |
BNC(阴性) |
|
射频输出口 |
标准同轴接头输出（M/N型，阴性） |
|
交流供电口 |
AC220V供电（50Hz） |
|
冷却方式 |
强制风冷 |
机械尺寸
|
描述 |
说明 |
|
体积 |
132mm(H)X483mm(W)X500mm(D)5.5＂(H)17.3＂(W)19.7＂(D) |
|
重量 |
19.9kg |
|
安装 |
前面板高为标准3U，宽为19英寸 |
|
前面板指示 |
4.3寸TFT真彩数字屏（16：9），分辩率480X272，LED背光，28键键盘，纯铝旋钮 |
|
前面板颜色 |
象牙白（可根据客户需求进行定制） |
使用环境
|
描述 |
说明 |
|
环境温度 |
0 -40℃ |
|
相对湿度 |
< 85% |
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RFG-1000型固态射频电源
RFG-1000型射频电源
电气参数
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电气参数 |
指标 |
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|
输出功率 |
1W-1000W连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示 |
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射频末级效率 |
≥86％（1000W输出时），≥93%（700W输出时） |
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|
功率稳定度 |
≤ ±0.5％(额定功率输出时) |
|
|
频率稳定度 |
±10ppm |
|
|
承受最大反射功率 |
200W（20-30s） |
|
|
最大输出功率裕度 |
20% |
|
|
谐波输出 |
二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB |
|
|
频率信号 |
13.56MHz标准正弦波 |
|
|
整机效率 |
≥70% |
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控制信号与后面板电气连接
|
描述 |
说明 |
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模拟口 |
15针D型（阴性）（选配） |
|
串口 |
RS232/RS485/USB通讯协议（选配） |
|
外部时钟同步（CEX） |
BNC(阴性) |
|
射频输出口 |
标准同轴接头输出（M/N型，阴性） |
|
交流供电口 |
AC220V供电（50Hz） |
|
冷却方式 |
强制风冷 |
机械尺寸
|
描述 |
说明 |
|
体积 |
132mm(H)X483mm(W)X500mm(D)5.5＂(H)17.3＂(W)19.7＂(D) |
|
重量 |
18.7kg |
|
安装 |
前面板高为标准3U，宽为19英寸 |
|
前面板指示 |
4.3寸TFT真彩数字屏（16：9），分辩率480X272，LED背光，28键键盘，纯铝旋钮 |
|
前面板颜色 |
象牙白（可根据客户需求进行定制） |
使用环境
|
描述 |
说明 |
|
环境温度 |
0 -40℃ |
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相对湿度 |
< 85% |
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RFG-500型固态射频电源
RFG-500型射频电源
电气参数
|
电气参数 |
指标 |
|
|
输出功率 |
1W-500W连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示 |
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|
射频末级效率 |
≥86％（500W输出时），≥93%（300W输出时） |
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|
功率稳定度 |
≤ ±0.5％(额定功率输出时) |
|
|
频率稳定度 |
±10ppm |
|
|
承受最大反射功率 |
100W（20-30s） |
|
|
最大输出功率裕度 |
20% |
|
|
谐波输出 |
二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB |
|
|
频率信号 |
13.56MHz标准正弦波 |
|
|
整机效率 |
≥70% |
|
控制信号与后面板电气连接
|
描述 |
说明 |
|
模拟口 |
15针D型（阴性）（选配） |
|
串口 |
RS232/RS485/USB通讯协议（选配） |
|
外部时钟同步（CEX） |
BNC(阴性) |
|
射频输出口 |
标准同轴接头输出（M/N型，阴性） |
|
交流供电口 |
AC220V供电（50Hz） |
|
冷却方式 |
强制风冷 |
机械尺寸
|
描述 |
说明 |
|
体积 |
132mm(H)X483mm(W)X500mm(D)5.5＂(H)17.3＂(W)19.7＂(D) |
|
重量 |
18kg |
|
安装 |
前面板高为标准3U，宽为19英寸 |
|
前面板指示 |
4.3寸TFT真彩数字屏（16：9），分辩率480X272，LED背光，28键键盘，纯铝旋钮 |
|
前面板颜色 |
象牙白（可根据客户需求进行定制） |
使用环境
|
描述 |
说明 |
|
环境温度 |
0 -40℃ |
|
相对湿度 |
< 85% |
通过qinwei
RFG-300型固态射频电源(定制)
RFG-300型射频电源
电气参数
|
电气参数 |
指标 |
|
|
输出功率 |
1W-300W连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示 |
|
|
射频末级效率 |
≥86％（300W输出时），≥93%（100W输出时） |
|
|
功率稳定度 |
≤ ±0.5％(额定功率输出时) |
|
|
频率稳定度 |
±10ppm |
|
|
承受最大反射功率 |
100W（20-30s） |
|
|
最大输出功率裕度 |
20% |
|
|
谐波输出 |
二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB |
|
|
频率信号 |
13.56MHz标准正弦波 |
|
|
整机效率 |
≥70% |
|
控制信号与后面板电气连接
|
描述 |
说明 |
|
模拟口 |
15针D型（阴性）（选配） |
|
串口 |
RS232/RS485/USB通讯协议（选配） |
|
外部时钟同步（CEX） |
BNC(阴性) |
|
射频输出口 |
标准同轴接头输出（M/N型，阴性） |
|
交流供电口 |
AC220V供电（50Hz） |
|
冷却方式 |
强制风冷 |
机械尺寸
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描述 |
说明 |
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体积 |
140(H)X270mm(W)X400mm(D) 可定制紧凑型 |
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重量 |
10kg |
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安装 |
两侧固定孔 |
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前面板指示 |
4.3寸TFT真彩数字屏（16：9），分辩率480X272，LED背光，纯铝旋钮 |
|
前面板颜色 |
象牙白（可根据客户需求进行定制） |
使用环境
|
描述 |
说明 |
|
环境温度 |
0 -40℃ |
|
相对湿度 |
< 85% |
通过qinwei
SP-IIA型自动匹配器
产品特点及主要性能指标：
1、自动快速调节匹配网络
2、实时显示入射功率及反射功率变化， 指示精度 3%
3、显示自偏压
4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
5、采用真空电容调节（1KW以上）
6、具有自动控制和手动控制两种模式
7、电压输入: 220v
8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性
10、规格：500W—10KW